メンテナンス用ケミカル |parkem(パーケム)株式会社パーカーコーポレーション

メンテナンス用ケミカル    PK-CRD/CFR/LCGシリーズ

【フォトマスク/スクリーンマスク洗浄剤】 PK-CRD/CFRシリーズ

洗浄性に優れ短時間での処理が可能。
引火性無く、非危険物。
有機物・パーティクルの除去にも優れる。
製品名 タイプ 特長
PK-CRD70
有機系アルカリ 付着レジストの洗浄性に優れる。
PK-CFR310 無機系アルカリ 強力な洗浄力。
PK-CRD810N 中性 有機物・パーティクルの除去にも優れる。

フォトマスク洗浄例

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    洗浄前

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    洗浄後

スクリーンマスク洗浄例

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    洗浄前

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    洗浄後

【設備装置フラッシング洗浄剤】 PK-LCG209/CRD670

装置内に付着したレジスト溶解性に優れている。
リンス性に優れ、配管内に洗浄剤が残らない。
オイルミストなどの有機物の洗浄にも効果的。
設備装置のタンク・配管のフラッシング、分解後のコータカップ洗浄にも適応可能。
製品名 無機系アルカリ 特長
PK-LCG209
無機系アルカリ スタンダードタイプ。
PK-CRD670 有機系アルカリ レジスト残渣に効果大。

配管洗浄例

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    洗浄前

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    洗浄後

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