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メンテナンス用ケミカル PK-CRD/CFR/LCGシリーズ
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【フォトマスク/スクリーンマスク洗浄剤】 PK-CRD/CFRシリーズ
洗浄性に優れ短時間での処理が可能。
引火性無く、非危険物。
有機物・パーティクルの除去にも優れる。
製品名 | タイプ | 特長 |
---|---|---|
PK-CRD70 |
有機系アルカリ | 付着レジストの洗浄性に優れる。 |
PK-CFR310 | 無機系アルカリ | 強力な洗浄力。 |
PK-CRD810N | 中性 | 有機物・パーティクルの除去にも優れる。 |
フォトマスク洗浄例
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洗浄前
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洗浄後
スクリーンマスク洗浄例
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洗浄前
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洗浄後
【設備装置フラッシング洗浄剤】 PK-LCG209/CRD670
装置内に付着したレジスト溶解性に優れている。
リンス性に優れ、配管内に洗浄剤が残らない。
オイルミストなどの有機物の洗浄にも効果的。
設備装置のタンク・配管のフラッシング、分解後のコータカップ洗浄にも適応可能。
製品名 | 無機系アルカリ | 特長 |
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PK-LCG209 |
無機系アルカリ | スタンダードタイプ。 |
PK-CRD670 | 有機系アルカリ | レジスト残渣に効果大。 |
配管洗浄例
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洗浄前
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洗浄後