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维护保养用化学品 PK-CRD/CFR/LCG系列
维护保养用化学品 内容
【光掩膜/屏幕掩膜洗净剂】 PK-CRD/CFR系列
洗净性优越，可在短时间内完成处理。
无易燃性，非危险物。
对有机物、颗粒的去除性优越。
| 产品名称 | 类型 | 特长 |
|---|---|---|
| PK-CRD70 |
有机系碱性 | 对附着光刻胶的洗净性优越。 |
| PK-CFR310 | 无机系碱性 | 洗净力强。 |
| PK-CRD810N | 中性 | 对有机物、颗粒的去除能性优越。 |
光掩膜洗净示例
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洗净前
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洗净后
屏幕掩膜洗净示例
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洗净前
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洗净后
【设备装置清洗用洗净剂】 PK-LCG209/CRD670
对装置内附着的光刻胶的溶解性优越。
冲洗性优越，在配管内不会残留洗净剂。
对油雾等有机物的洗净有效。
也可用于设备装置槽、配管的冲洗、分解后的涂布杯的洗净。
| 产品名称 | 类型 | 特长 |
|---|---|---|
| PK-LCG209 |
无机系碱性 | 标准型。 |
| PK-CRD670 | 有机系碱性 | 对光刻胶残渣的效果好。 |
配管洗净示例
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洗净前
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洗净后
